Инженерно-физические основы микросистем. Учебное пособие
Об издании
В работе описаны инженерно-физические основы подхода к описанию микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. Даны определения основным терминам, применяемым в микросистемной технике, краткая история развития микросистем и перечень характерных метрологических параметров. Приведен математический аппарат, необходимый для описания физики микро- и наносистем. Рассмотрены метрологические и технологические основы подхода к их проектированию, изготовлению и тестированию. Рекомендовано студентам всех вузов, обучающимся по специальностям «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника» и «Приборостроение».
Библиографическая запись
Гридчин А.В. Инженерно-физические основы микросистем : учебное пособие / Гридчин А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2025. — 136 c. — ISBN 978-5-7782-5465-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/158769.html (дата обращения: 07.07.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Сергеев И.Ю., Латышенко К.П., Шмырева М.Б., Николаев Г.А., Бояринова С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Каткова А.М., Храмцова А.И.
(Московский педагогический государственный университет)
Петраков М.А., Прудников С.Н.
(Брянский государственный аграрный университет)
Кузьмин А.К., Бровко А.В., Ермаков А.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Суханов В.М., Крюкова О.Н., Курченков А.А., Пауков А.А.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)
Родин Ю.И.
(Московский педагогический государственный университет)
Джалилов П.Б., Ананичев Е.А., Логинов О.А., Носова Е.А., Шкарупа А.В.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
